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2026

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06

微透镜矢高尺寸失准，白光干涉仪判定结构成型工艺问题

一、微透镜矢高工艺缺陷及传统检测局限矢高（Sag Height）是微透镜核心几何参数，定义为透镜顶点至有效口径端面的垂直高度，直接决定微透镜焦距、数值孔径及光学耦...

01

2026

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06

基于白光干涉仪的晶圆表面粗糙度及加工工艺检测分析

半导体超光滑晶圆构件是高端芯片、精密光学、激光系统的核心基础元件，其CMP抛光、研磨等工序易产生纳米级划痕、局部凹陷、颗粒凸起、面形畸变等微观缺陷。传统二维检测设...

01

2026

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06

白光干涉仪高精度检测技术 优化光伏激光划线量产良率

一、光伏激光划线工艺质控痛点激光划线是钙钛矿、晶硅薄膜等光伏电池单片互联、P1/P2/P3结构化制备的核心工序，直接决定组件串联质量与光电转换性能[1]。受多层薄...

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2026

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05

微透镜面形精度工艺异常依托白光干涉仪快速溯源整改、

一、行业工艺痛点微透镜是光学成像、光伏聚光、传感模组的核心微型光学元件，其面形精度（Surface Figure）直接决定光学系统透光率、聚焦精度与成像品质。量产...

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